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氯硅烷中碳雜質(zhì)的測(cè)定方法——基二氯氫硅的測(cè)定

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： YS/T 987-2014
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
起草單位： 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司等
發(fā)布日期： 2014-10-14
實(shí)施日期： 2015-04-01
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更新日期： 2019年06月03日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)第1部分規(guī)定了三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定方法，適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定，檢測(cè)范圍為0.00001%～1.00%。
本標(biāo)準(zhǔn)第2部分規(guī)定了四氯化硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于四氯化硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定，檢測(cè)范圍為0.00001%～1.00%。

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