本標(biāo)準(zhǔn)描述了用低溫傅立葉變換紅外光譜法測(cè)定硅單晶中III、V族雜質(zhì)含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅單晶中的III、V族雜質(zhì)鋁（Al）、銻（Sb）、砷（As）、硼（B）、鎵（Ga)、銦（In）和 磷（P）含量的測(cè)定，各元素的測(cè)定范圍（以原子數(shù)計(jì)）為1.0×1010 cm-3～4.1×1014 cm-3。