本文件規(guī)定了鈀蒸發(fā)料的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。 ?
本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鈀蒸發(fā)料。