本文件規(guī)定了電子級多晶硅的牌號和類別、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于以氯硅烷、硅烷制得的電子級多晶硅(以下簡稱“多晶硅”)。
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