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碳化硅單晶拋光片

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 30656-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司 等
發(fā)布日期： 2023-03-17
實施日期： 2023-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年04月28日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的牌號及分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于生產(chǎn)電力電子器件、射頻微波器件及LED發(fā)光器件的外延材料用碳化硅單晶拋光片。

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