方向0°~8°的碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測(cè)試。" />
本文件規(guī)定了碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測(cè)試方法。
本文件適用于晶面偏離面、偏向<11?2 0>方向0°~8°的碳化硅單晶位錯(cuò)密度的測(cè)試。
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