本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用陰極熒光顯微鏡法測試氮化鎵單晶位錯(cuò)密度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于位錯(cuò)密度在1×103 個(gè)/cm2~5×108 個(gè)/cm2 之間的氮化鎵單晶中位錯(cuò)密度的測試。
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