本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直流四探針法測量鍺單晶電阻率的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量試樣厚度和從試樣邊緣與任一探針端點(diǎn)的最近距離二者均大于探針間距的4倍鍺單晶的體電阻率以及測量直徑大于探針間距的10倍、厚度小于探針間距4倍鍺單晶圓片（簡稱圓片）的電阻率。