酸浸取原子吸收光譜法測定多晶硅表面金屬污染物

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 24579-2009

替代情況：

發(fā)布單位：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所

發(fā)布日期： 2009-10-30

實(shí)施日期： 2010-06-01

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更新日期： 2025年03月11日

內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì),并用石墨爐原子吸收定量檢測多晶硅塊表面上的痕量金屬雜質(zhì)分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鋁、鐵、鉻、鎳、鋅的檢測。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、鋉片形多晶或單晶硅表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則,面積很難準(zhǔn)確測定,根據(jù)樣品重量計(jì)算結(jié)果。