半導(dǎo)體工亞是技術(shù)較為先進(jìn)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè), 但在生產(chǎn)過釋中產(chǎn)生的污染問題, 同樣不能被忽略, 其中、工藝慶氣污染問題是特別值得關(guān)注的。本文針對半導(dǎo)體芯片制透業(yè)產(chǎn)生叻工藝廢氣的污染洽理及風(fēng)險防范進(jìn)行了研究。