本標準規(guī)定了氨的技術(shù)要求,試驗方法,檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。
本標準適用于半導(dǎo)體工業(yè),氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。