本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氟化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟氣和硼單質(zhì)為原料,采用直接化合的方法制得并經(jīng)過(guò)純化制取的三氟化硼;和以氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經(jīng)過(guò)純化制取的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。