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光學(xué)功能薄膜 微結(jié)構(gòu)厚度測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 42674-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 中國樂凱集團(tuán)有限公司、合肥樂凱科技產(chǎn)業(yè)有限公司、衡山縣佳誠新材料有限公司 等
發(fā)布日期： 2023-08-06
實施日期： 2024-03-01
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更新日期： 2023年12月18日
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內(nèi)容摘要

本文件描述了通過掃描電子顯微鏡(SEM)檢測光學(xué)功能薄膜橫截面微結(jié)構(gòu)厚度(以下簡稱橫截面厚度)的方法。
本文件適用于厚度不小于50 nm的光學(xué)功能薄膜的單層或多層結(jié)構(gòu)的厚度測試。????

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