本文件描述了五種原子力顯微術(shù)探針懸臂梁法向彈性常數(shù)的測量方法,測量的精度誤差為5%~10%。每個方法分別隸屬于尺寸法、靜態(tài)實驗法和動態(tài)實驗法三類方法中的一種。方法的選擇取決于分析所要達到的目的,便易性及現(xiàn)有的儀器條件。
本文件不適用于高于5%~10%的測量精度,如要獲得高于5%~10%的測量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法進行測量。
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