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表面化學(xué)分析 掃描探針顯微術(shù) 懸臂梁法向彈性常數(shù)的測定

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 42543-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 上海交通大學(xué)、中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所、上海市計量測試技術(shù)研究院、納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
發(fā)布日期: 2023-05-23
實施日期: 2023-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年12月18日
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內(nèi)容摘要

本文件描述了五種原子力顯微術(shù)探針懸臂梁法向彈性常數(shù)的測量方法,測量的精度誤差為5%~10%。每個方法分別隸屬于尺寸法、靜態(tài)實驗法和動態(tài)實驗法三類方法中的一種。方法的選擇取決于分析所要達到的目的,便易性及現(xiàn)有的儀器條件。
本文件不適用于高于5%~10%的測量精度,如要獲得高于5%~10%的測量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法進行測量。

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