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微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 42896-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 上海臨港新片區(qū)跨境數(shù)據(jù)科技有限公司、廣州奧松電子股份有限公司 等
發(fā)布日期： 2023-08-06
實施日期： 2023-12-01
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更新日期： 2023年09月24日
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內(nèi)容摘要

本文件描述了硅基MEMS制造技術(shù)中所涉及的納尺度膜結(jié)構(gòu)沿厚度方向沖擊試驗的要求和試驗方法。
本文件適用于采用微電子工藝制造的納尺度結(jié)構(gòu)在一次沖擊負荷作用下的耐沖擊性能的測試。

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