本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微幾何量的評(píng)定基本原則、評(píng)定要素、評(píng)定程序、評(píng)定方法以及評(píng)定規(guī)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)等從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測(cè)。
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微幾何量評(píng)…微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微機(jī)械量評(píng)…計(jì)算機(jī)輔助工藝設(shè)計(jì) 導(dǎo)則硬磁盤驅(qū)動(dòng)器頭堆組件通用規(guī)范材料法向發(fā)射比與全玻璃真空太陽集熱…分光光度計(jì)測(cè)量材料的太陽透射比和太…帶輔助能源的家用太陽能熱水系統(tǒng)熱性…數(shù)字電視接收設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試信號(hào)
