本標(biāo)準(zhǔn)給出了半導(dǎo)體制造設(shè)備(SME)在供應(yīng)商工廠的最終裝配(總裝)、包裝、運(yùn)輸以及在客戶潔凈室生產(chǎn)區(qū)的拆包和安放等特定活動(dòng)指南。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、獨(dú)立的組件和部件在供應(yīng)商工廠的最終裝配(總裝)、包裝和運(yùn)輸以及從客戶裝貨碼頭/接收區(qū)到高純和超高純應(yīng)用的潔凈室生產(chǎn)區(qū)的轉(zhuǎn)移過(guò)程。
本標(biāo)準(zhǔn)不包含與環(huán)境、健康和安全(EHS)相關(guān)的特殊要求,也不適用于與晶片粒子或晶片質(zhì)量(如離子污染度)相關(guān)的加工過(guò)程規(guī)范。