本部分規(guī)定了銅銦鎵硒靶材中鋁、鐵、鎳、鉻、錳、鉛、鋅、鎘、鈷、鉬、鋇、鎂量的測(cè)定方法。本部分適用于銅銦鎵硒靶材中鋁、鐵、鎳、鉻、錳、鉛、鋅、鎘、鈷、鉬、鋇、鎂量的測(cè)定。測(cè)定范圍：0.000 05 %～0.0020%。