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鈦蒸發(fā)料

標 準 號: YS/T 1141-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 有研億金新材料有限公司等
發(fā)布日期: 2016-07-11
實施日期: 2017-01-01
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更新日期: 2017年09月26日
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下載點數:20點(VIP會員免費)
內容摘要

本標準規(guī)定了鈦蒸發(fā)料的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書與合同(或訂貨單)內容。本標準適用于半導體行業(yè)用的鈦蒸發(fā)料。    

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