本文件描述了用非接觸式渦流感應法測試太陽能電池用單晶硅錠、硅塊和硅片中非平衡載流子復合壽命的方法。本文件適用于非平衡載流子復合壽命在0.1 μs~10 000 μs、電阻率在0.1 Ω·cm~10 000 Ω·cm的硅錠、硅塊和硅片的測試。其中瞬態(tài)光電導衰減法適用于非平衡載流子復合壽命小于100 μs時硅錠、硅塊和硅片的測試,準穩(wěn)態(tài)光電導法適用于非平衡載流子復合壽命大于200 μs時硅錠、硅塊和硅片的測試,非平衡載流子復合壽命在100 μs~200 μs時,兩種測試方法均適用。
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