本文件規(guī)定了集成電路晶圓制造過程的單位產(chǎn)品能源消耗（以下簡稱能耗)限額的技術要求、統(tǒng)計范圍、計算方法、節(jié)能管理與措施。
本文件適用于集成電路晶圓制造企業(yè)單位產(chǎn)品能耗的計算與考核，以及對新建及改擴建項目的能耗控制。
本文件不適用于12英寸40 nm及以下工藝制程的集成電路制造企業(yè)。