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本文件規(guī)定了銅銦鎵硒太陽能電池薄膜濺射沉積設備的術語和定義、結構與使用環(huán)境、基本要求、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存及質(zhì)量承諾。